天博国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院回应—新闻—科学网 来源：天博企业 发表时间: 2024-08-16

近期，一则动静于各年夜视频平台广为流传，称清华年夜学EUV工程把ASML的光刻机伟大化，实现了光刻机国产化，并暗示这个工程已经经于雄安新区落地。

对于此，中国电子项目设计院有限公司（下称中国电子院）9月18日发声，称该工程并不是网传的国产光刻机工场，而是北京高能同步辐射�첩光源工程（HEPS）。

北京高能同步辐射光源工程座落在北京怀柔雁栖湖畔，是国度“十三五”庞大科技根蒂根基举措措施，它是我国第一台高能量同步辐射光源，也是世界上亮度最高的第四代同步辐射光源之一。该工程早于2019年就最先设置装备摆设、将在2025年末投入使用。

HEPS是干吗用的呢？它的作用是经由过程加快器将电子束加快到6GeV，然后注入周长1360米的贮存环，用靠近光速的速率连结运行。电子束于贮存环的差别位置经由过程弯转磁铁或者者各类插入件时就会沿着偏转轨道切线的标的目的，开释出不变、高能量、高亮度的光，也就是同步辐射光。

中国电子院注释称，HEPS可以当作是一个超周详、超高速、具备强盛穿透力的巨型X光机，它孕育发生的小光束可以穿透物资、深切内部举行立体扫描，从份子、原子的标准多维度地不雅察微不雅世界，HEPS是举行科学试验的年夜科学装配，其实不是网传的光刻机工场。

中国电子院称，该工程由天下勘测设计巨匠、国投集团首席科学家娄宇带队，中国电子院多个技能科研以及设计团队协同互助，从工程可研立项到工程落地霸占了多项技能以及工艺难关。今朝高能同步辐射光源配套项目已经周全落成。

（原题：《国产光刻机工场落地雄安？中国电子院澄清：这是北京高能同步辐射光源》）

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