天博高性能大面积碳化硼薄膜在中国散裂中子源研制成功—新闻—科学网 来源：天博企业 发表时间: 2024-04-13

记者10月16日从中国散裂中子源获悉，中国散裂中子源(CSNS)探测器团队哄骗自立研制的磁控溅射年夜面积镀硼公用装配，近日乐成制备出满意中子探测器需求的高机能年夜面积碳化硼薄膜样品，单单方面积到达1500妹妹×500妹妹，薄膜厚度1微米，全尺寸规模内厚度匀称性优在±1.32%，是今朝国际上用在中子探测的最年夜面积的碳化硼薄膜。

高机能年夜面积碳化硼薄膜样品。（受访单元供图）

基在硼转换的中子探测器因其优秀的机能已经成为当前�첩国际上研究的热门，跟着CSNS二期项目行将启动，拟建的中子谱仪对于年夜面积、高效率、位置敏捷的新型中子探测器需求紧急。怎样制备出高机能中子转换碳化硼薄膜是此中最焦点的技能，今朝也只要美国、欧洲等少数几个发财国度以及地域把握了该项技能。2016年于核探测与核电子学国度重点试验室的撑持下，CSNS探测器团队与同济年夜学朱京涛传授互助，最先研制一台磁控溅射年夜面积镀硼公用装配，镀膜厚度规模为0.01~5微米，同时撑持单、双面镀膜，撑持射频以及直流镀膜。2021年6月，该装配经由过程了验收并投入使用。

据相识，颠末多年技能攻关以及工艺试制，团队霸占了溅射靶材建造、过渡层选择、基材外貌处置惩罚等对于镀膜品质影响年夜的要害技能，哄骗该装配制备了多种规格的碳化硼薄膜，并乐成运用在CSNS多台中子谱仪上的陶瓷GEM中子探测器，实现了中子探测器要害技能以及器件的国产化，为接下来研制更年夜面积的高机能新型中子探测器提供了强无力的技能支撑。

出格声明：本文转载仅仅是出在流传信息的需要，其实不象征着代表本消息网不雅点或者证明其内容的真实性；如其他媒体、消息网或者小我私家从本消息网转载使用，须保留本消息网注明的“来历”，并自大版权等法令义务；作者假如不但愿被转载或者者接洽转载稿费等事宜，请与咱们联系。/天博